ESI BULLETTM Wafer ID Reader
     
ESI Bullet
日本語GUI発売中
  
特  徴
  • 業界最小最軽量センサー
  • 特許取得新照明による高読取性能
  • 簡単な接続・取付
  • Web GUIを利用した簡単なオペレーション
  • 高速プロセッサーによる高速処理(1GHz以上)
  • WindowsTMベース・ソフトウェア並びにハードウェア使用
         
仕  様
  • 横置き、縦置きのマウント可能
  • ワーキングディスタンス 20o、40o、60o
  • 光学倍率−OCR及び2DID
         
メ モ リ
・レシピ・ストア用 20GB(Vision Hub内)、リモートネットワーク経由で無制限
・自動画像記録用 20GB(Vision Hub内)、リモートネットワーク経由で無制限
  
画  像
・センサ 1/3インチCMOSセンサー
・フォーマット 750Hx480V(適正化されたID)
・フレームレート 電機式グローバルシャッター、60フレーム/秒以上
・レベル 256(10 ビット・レゾリューション), 26.6メガ・フィクセル/秒
・ダイナミックレンジ 110DB+レンジ(サブ0.1Luxから直射日光まで)
・ゲイン ソフトウェアによるプログラム可能
  
光 学 系
・視野 OCR:32mm(W) x 20mm(V)  2DID:16mm(W) x 10mm(V)
・ワーキングディスタンス 工場出荷時変更可能20o, 40o,60o
・焦点深度  10o以上
    
照 明 系
・照明タイプ 単波長LED
・モード数 10種類
・モードタイプ 明視野、暗視野、テレセントリック同軸暗視野
・照明レベル 16ステップ
   
通信インターフェース
・シリアル制御 RS-232C
・ネットワーク イーサネット 10/100 BaseT,TCP/IP
・Bullet-VisionHub間 USB2.0
   
電 気 系
・要求電源 12 V DC(最大1.5A) 100VAC対応アダプター完備
・光学倍率 OCR及び2DID
     
ハードウェアへの設定
             
メカ機構(BulletTM)
・寸法 75mm(L) x 50mm(W) x 50mm(H)
・仕様上の長さ 105mm(コネクターを含む)
・ワーキングディスタンス 工場出荷時選択可20mm, 40mm, 60mm
・背面取付部分 M3ネジ穴4箇所( 10mm深さ)
・側面取付部分 M5ネジ穴2箇所/面(計4箇所6mm 深さ)
・重量 150 g
   
メカ機構(Vision HabTM)
・寸法 177.8mm x 50.8mm x 254.0mm
・材質 Compact rugged industrial housing
・取付部 側面:M3ネジ穴4箇所/面(計8箇所)
・オプション取付部 DINレール取付治具
    
 ESI社の BulletTM ウェーハ IDカメラは半導体工場の環境下のいかなるプロセスでも最高のスループットでIDナンバーを読み取ることが可能です。非常に小さなOCRリーダーヘッドの中で照明タイプを選択し、照明を調節するための簡単で電気的なインターフェースをもってハード、ソフト、スーパーソフトを含む全てのスクラブマークに対して高性能な照明システムをも含み先進技術の特徴をご提供いたします。
 最強の照明システムによりそれぞれ16レベルの照度で10種のライトモードにて、ソフトマークイルミネーション問題を解決する狭角暗視野照明の構成を持ち合わせています。特許を所有するテレセントリック同軸狭角暗視野照明(TOAD)にて、ESI社のBulletは容易に既存のOEMプラットホームに組み込まれる完全なるOCRソリューションといえます。
 高いスループットでプロセストラッキングが可能な自動ウェーハID認識を必要とするウェーハソーター、ウェーハプローバー、光学検査装置、クラスタ装置または他の処理装置等に利用可能です。
      
     
レシピサーマリー データログ
    
 
ユーザーランタイム(実稼動時) オプティマイズ
     
           
バーコードスクラブ 彫られたスクラブ リソスクラブ
    
2Dマトリックススクラブ ラジカルスクラブ ソフトマーク
    
スーパーソフトマーク ハードマーク